一、全自動探針臺主要由什么組成

全自動探針臺是一種用于半導(dǎo)體行業(yè)的重要設(shè)備，主要用于在制造集成電路的過程中對芯片進(jìn)行測試和驗證。探針是用來與芯片上的接觸點進(jìn)行接觸并測試其性能的工具，而探針臺則是用于控制探針的精確位置和操作，以及進(jìn)行數(shù)據(jù)采集和處理的重要設(shè)備。

全自動探針臺的結(jié)構(gòu)包括以下幾個主要部分：

1、機(jī)械系統(tǒng)：機(jī)械系統(tǒng)是核心部分，它包括一個精密的XYZ坐標(biāo)系，用于控制探針的移動。這個坐標(biāo)系通常由高精度的直線導(dǎo)軌、伺服電機(jī)和光學(xué)編碼器組成。此外，機(jī)械系統(tǒng)還包括一個可以容納多個探針的探針座，以及一個可以自動更換探針的裝置。

2、光學(xué)系統(tǒng)：光學(xué)系統(tǒng)是重要部分之一，它包括一個高精度的顯微鏡和一組用于照明和觀察芯片的鏡頭。通過光學(xué)系統(tǒng)，操作者可以清晰地觀察到芯片上的接觸點，并將探針準(zhǔn)確地放置在接觸點上。

3、電氣系統(tǒng)：電氣系統(tǒng)是控制中心，它包括一個主控制器、一個電源和一個與計算機(jī)連接的數(shù)據(jù)接口。主控制器用于控制機(jī)械系統(tǒng)和光學(xué)系統(tǒng)的操作，電源用于提供能量，而數(shù)據(jù)接口則用于將測試數(shù)據(jù)傳輸?shù)接嬎銠C(jī)中進(jìn)行處理和分析。

4、軟件系統(tǒng)：軟件系統(tǒng)是關(guān)鍵部分之一，它控制著整個測試過程，包括探針的移動、測試信號的施加和測量、以及數(shù)據(jù)的采集和處理等。軟件系統(tǒng)通常采用圖形用戶界面(GUI)來方便操作者進(jìn)行操作和監(jiān)控。

二、國產(chǎn)與進(jìn)口全自動探針臺區(qū)別介紹

在選購全自動探針臺時，很多人會糾結(jié)是買進(jìn)口的還是國產(chǎn)的，想知道國產(chǎn)與進(jìn)口全自動探針臺區(qū)別有哪些？

1、探針數(shù)量

國產(chǎn)和進(jìn)口全自動探針臺的主要區(qū)別在于探針數(shù)量的不同。國產(chǎn)全自動探針臺采用的是單探針或雙探針設(shè)計，而進(jìn)口全自動探針臺則一般配備三至六個探針。

2、精度

在精度方面，進(jìn)口全自動探針臺通常比國產(chǎn)探針臺更精確。這是因為許多進(jìn)口探針臺采用了先進(jìn)的微機(jī)控制系統(tǒng)和高精度傳動系統(tǒng)，具備更高的測量精度和可重復(fù)性。

3、使用壽命

進(jìn)口全自動探針臺通常采用的是優(yōu)質(zhì)材料和制造工藝，具有更長的使用壽命和更好的穩(wěn)定性。而國產(chǎn)探針臺由于材料和制造工藝的限制，使用壽命和穩(wěn)定性方面可能存在一定的差距。