一、硅片是半導(dǎo)體材料嗎
是。
硅片是半導(dǎo)體材料的基石,它是先通過(guò)拉單晶制作成硅棒,然后切割制作成的。由于硅原子的價(jià)電子數(shù)為4,序數(shù)適中,所以硅元素具有特殊的物理化學(xué)性質(zhì),可用在化工、光伏、芯片等領(lǐng)域。特別是在芯片領(lǐng)域,正式硅元素的半導(dǎo)體特性,使其成為了芯片的基石。在光伏領(lǐng)域,可用于太陽(yáng)能發(fā)電。而且地球的地殼中硅元素占比達(dá)到25.8%,開(kāi)采較為方便,可回收性強(qiáng),所以?xún)r(jià)格低廉,進(jìn)一步增強(qiáng)了硅的應(yīng)用范圍。
二、硅片怎么分辨等級(jí)
每家硅片企業(yè)的標(biāo)準(zhǔn)都不一樣,僅供參考,以下標(biāo)準(zhǔn)針對(duì)的硅片厚度為220μm。
1、優(yōu)等品
(1)硅片表面光滑潔凈。
(2)TV:220±20μm。
(3)幾何尺寸:
邊長(zhǎng)125±0.5mm。對(duì)角150±0.5mm、148±0.5mm、165±0.5mm。
邊長(zhǎng)103±0.5mm、對(duì)角135±0.5mm。
邊長(zhǎng)150±0.5mm、156±0.5mm、對(duì)角203±0.5mm、200±0.5mm。
同心度:任意兩個(gè)弧的弦長(zhǎng)之差≤1mm。
垂直度:任意兩邊的夾角:90°±0.3。
2、合格品
一級(jí)品:
(1)表面有少許污漬、輕微線痕。
(2)220±20μm≤TV≤220±30μm。
(3)幾何尺寸:
邊長(zhǎng)125±0.5mm。對(duì)角150±0.5mm、148±0.5mm、165±0.5mm。
邊長(zhǎng)103±0.5mm、對(duì)角135±0.5mm。
邊長(zhǎng)150±0.5mm、156±0.5mm、對(duì)角203±0.5mm、200±0.5mm。
同心度:任意兩個(gè)弧的弦長(zhǎng)之差≤1.2mm。
垂直度:任意兩邊的夾角:90°±0.5,cheapradiishoes。
二級(jí)品:
(1)表面有少許污漬、線痕、凹痕,輕微崩邊。
(2)220±30μm≤TV≤220±40μm。
(3)凹痕:硅片表面凹痕之和≤30μm。
(4)崩邊范圍:崩邊口不是三角形狀,崩邊口長(zhǎng)度≤1mm,深度≤0.5mm
(5)幾何尺寸:
邊長(zhǎng)125±0.52mm、對(duì)角150±0.52mm、148±0.52mm、165±0.52mm。
邊長(zhǎng)103±0.52mm、對(duì)角135±0.52mm。
邊長(zhǎng)150±0.52mm、156±0.52mm、對(duì)角203±0.52mm、200±0.52mm。
同心度:任意兩個(gè)弧的弦長(zhǎng)之差≤1.5mm。
垂直度:任意兩邊的夾角:90°±0.8。
三級(jí)品:
(1)表面有油污但硅片顏色不發(fā)黑,有線痕和硅落現(xiàn)象。
(2)220±40μm≤TV≤220±60μm。
(3)硅落:整張硅片邊緣硅晶脫落或部分硅晶脫落。
3、不合格品
(1)嚴(yán)重線痕、厚薄片:TV>220±60μm。
(2)崩邊片:有缺損但可以改Φ103的硅片。
(3)氣孔片:硅片中間有穿孔。
(4)外形片:切方滾圓未能磨出的硅片。
(5)倒角片(同心度):任意兩個(gè)弧的弦長(zhǎng)之差>1.5mm。
(6)菱形片(垂直度):任意兩邊的夾角>90°±0.8。
(7)凹痕片:硅片兩面凹痕之和>30μm。
(8)臟片:硅片表面有嚴(yán)重污漬且發(fā)黃發(fā)黑。
(9)尺寸偏差片:幾何尺寸超過(guò)二級(jí)品的范圍。