江蘇微導納米科技股份有限公司(簡稱“微導納米”,股票代碼688147.SH)成立于2015年12月,是一家面向全球的半導體、泛半導體高端微納裝備制造商。
公司形成了以原子層沉積(ALD)技術(shù)為核心,CVD等多種真空薄膜技術(shù)梯次發(fā)展的產(chǎn)品體系,專注于先進微米級、納米級薄膜設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)與應用。公司業(yè)務涵蓋光伏、LED、集成電路,及MEMS等泛半導體相關(guān)領(lǐng)域,以及新能源和柔性電子領(lǐng)域;主要產(chǎn)品為應用于光伏電池、硅基微顯示、邏輯芯片、存儲芯片、化合物半導體和3D封裝等半導體及泛半導體的專用設(shè)備和成套技術(shù),以及應用于柔性電子、新一代高效太陽能電池整線的量產(chǎn)解決方案。2022年12月23日,公司成功登陸上交所科創(chuàng)板。
自成立以來,公司通過不斷吸納國內(nèi)外優(yōu)秀人才和保持高水平研發(fā)投入,已在微米級、納米級薄膜沉積核心技術(shù)領(lǐng)域具有豐富的技術(shù)積累。公司產(chǎn)品用于光伏電池片生產(chǎn)過程中的薄膜沉積環(huán)節(jié),具備優(yōu)良的產(chǎn)能提升能力與產(chǎn)品性能,在保障光電轉(zhuǎn)換效率的同時,有效幫助下游電池片廠商大幅降低了設(shè)備投資額與生產(chǎn)消耗成本。
在此基礎(chǔ)上,公司繼續(xù)深化開發(fā)對技術(shù)水平和工藝要求更高的半導體薄膜沉積設(shè)備,是成功將量產(chǎn)型High-k原子層沉積設(shè)備應用于28nm節(jié)點集成電路制造前道生產(chǎn)線的國產(chǎn)設(shè)備公司,設(shè)備總體表現(xiàn)和工藝關(guān)鍵性能參數(shù)達到國際同類水平,并已獲得客戶重復訂單認可。
公司也是國內(nèi)能在短期內(nèi)快速反饋并協(xié)助客戶解決產(chǎn)線上技術(shù)問題的專用設(shè)備廠商之一,具備承擔下一代光伏電池設(shè)備和半導體設(shè)備研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項目的技術(shù)儲備和人才基礎(chǔ)。公司將持續(xù)圍繞市場需求,深化自主創(chuàng)新,加快核心技術(shù)攻關(guān),進一步拓展并薄膜沉積技術(shù)的應用領(lǐng)域,推動高端技術(shù)裝備的國產(chǎn)化、產(chǎn)業(yè)化,力爭成為世界微納制造裝備領(lǐng)軍企業(yè)。